摘要: 利用直流磁控溅射方法制备了 Fe/ Cu 纳米多层膜, 使用扫描电子显微镜(SEM)、薄膜应力分布测试仪和纳米压痕技术研究了不同周期结构 Fe/ Cu 纳米多层薄膜的内应力及其纳米力学性能.在 Fe/Cu 纳米多层薄膜中, 由于铁和铜的结构和本征性能的差异, 形成多层膜结构后存在张应力, 其张应力在周期 T =10 时达到 910.08 MPa , 对应的纳米硬度为 12.3 GPa.随着多层薄膜调制周期数 T 的增加而内应力逐渐降低, 纳米硬度和弹性模量随着张应力缓释也出现下降.根据纳米薄膜内应力对其力学性能的影响 , 探讨了内应力与薄膜纳米力学性能的相关性.