在扫描电镜上实现ＳＴＥＭ 模式的一种方法及应用

    摘要
  • 摘要: 在扫描电子显微镜上实现ＳＴＥＭ 模式通常需要有一个扫描透射样品座和一个扫描透射信号的接收装置．本方法是在扫描电镜样品台上安装一个自行设计的安装薄样品的样品支架，利用扫描电镜内已有的二次电子检测器来检测扫描透射电子就可以实现ＳＴＥＭ 明场像的观察和 Ｘ射线能谱分析．该方法不需要在扫描电镜里另外加装透射信号接收装置．

     

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